某半导体芯片厂在制作的时候中动用硝酸铵系定影液,呈现高酸度含NOx生活污水,日正确排污量50吨。生活污海里含NO2-自由高达2000mg/L,且含带少量有机物光刻胶有效成分,正确补救分值比较大的。
2. 化工废水部分及来自
显影液流程电镀废水(注意造成的大气污染)
晶圆洁净废水处理工艺
有机废气物洗洁塔排水管道
3. 处理加工过程具体步骤
选择"初级钝化+有级怪物治疗"革新生产技术:
臭氧的危害空气氧化
:凭借老化遭受器存在O3,将难降解塑料充分物吸附为小原子产品,一起将NO2-腐蚀为NO3-。
生物工程膜发生生物反应器(MBR)
:
独一级:乏氧生态下加药甲醇作碳源,促使反反硝化作用发应
2级:好氧海洋生物膜进每一步光降解设计物
电生物角度外理
:选用钛基涂覆电极材料,能够 钛电极反应齐全拆分的残留物污染问题物。
4. 最终能够作用
NOx总氮降为8mg/L下述
COD稳固在30mg/L球以内
化工废水工业废水处理率达60%
软件进行耗电抑制在3.5kWh/吨水,较过去施工工艺节能环保20%。