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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆产出线一起的超去离子水体统,天天会产生含硅废水处理150吨。废水处理中虽无天价属,但硅浓度高易结渣,且电容率需可达18MΩ·cm性能使用。应有处工院艺无非符合新制定的《网络工业园水环保问题物减排要求》(GB39731-2020)相当减排规定值。 污水基本成分作用 一般污染问题物 :溶液硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(比表面积0.1-1μm) 专项 耍求 :TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L 污水水质优点 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机化合物状态僵化 进行处理生产工艺程序流程 创新发展采取"梯级膜分开+电去阴阳离子"组装的工艺: 微滤预办理 :1μm卫浴陶瓷膜短信拦截大顆粒硅,通量维系80LMH 化合物互转光敏树脂 :D201大孔不饱和树脂的可选择性吸附性硅酸分子结构 二次元RO系统化 :1段收购 率60%,其次段按照高脱硼膜部件 EDI电去阴离子 :直流电压密度计算2A/m²,快速清理残存化合物 UV紫外线杀菌消毒 :254nm紫外光线线服用量40mJ/cm² 能力短板 设计规划专门阻硅剂(有机的胺类分手后复合物),减轻膜被污染时间段3倍 EDI模组不断创新流道设定,硅清除率增强至99.8% 在线播放硅分析一下仪(检测的超范围0.1-500μg/L)确保精准服务控制 正常运作作用 经3、方检验: 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼纯度从8μg/L降到0.3μg/L 设备回笼率从原40%优化至68% 膜根换期限调长至5年,年运营利润缩减35%

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