该厂为8英尺晶圆产出线一起的超去离子水体统,天天会产生含硅废水处理150吨。废水处理中虽无天价属,但硅浓度高易结渣,且电容率需可达18MΩ·cm性能使用。应有处工院艺无非符合新制定的《网络工业园水环保问题物减排要求》(GB39731-2020)相当减排规定值。
污水基本成分作用
一般污染问题物
:溶液硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(比表面积0.1-1μm)
专项 耍求
:TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L
污水水质优点
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅有机化合物状态僵化
进行处理生产工艺程序流程
创新发展采取"梯级膜分开+电去阴阳离子"组装的工艺:
微滤预办理
:1μm卫浴陶瓷膜短信拦截大顆粒硅,通量维系80LMH
化合物互转光敏树脂
:D201大孔不饱和树脂的可选择性吸附性硅酸分子结构
二次元RO系统化
:1段收购 率60%,其次段按照高脱硼膜部件
EDI电去阴离子
:直流电压密度计算2A/m²,快速清理残存化合物
UV紫外线杀菌消毒
:254nm紫外光线线服用量40mJ/cm²
能力短板
设计规划专门阻硅剂(有机的胺类分手后复合物),减轻膜被污染时间段3倍
EDI模组不断创新流道设定,硅清除率增强至99.8%
在线播放硅分析一下仪(检测的超范围0.1-500μg/L)确保精准服务控制
正常运作作用
经3、方检验:
总硅从280mg/L低于0.05mg/L
硼纯度从8μg/L降到0.3μg/L
设备回笼率从原40%优化至68%
膜根换期限调长至5年,年运营利润缩减35%