某半导体行业造成商家因晶圆家电清洗工作有含氨废水加工处理工艺,需水量200吨/天。废水加工处理工艺中除氯离子外还内含氟化物和少量巨资属,加工处理困难程度大。当地的废气规格规范要求氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废液成份及从何而来
晶圆擦洗废液(关键由来):含氧化还原电位200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺程序废水处理方法:含微量分析铜、镍等巨资属,pH值上下波动大
CMP精磨生活污水:含硅颗粒剂及高锰酸盐指数
处里技术程序
利用"化学工业沉淀自己+膜分开+折点氯化"组合式技艺:
预治理
:加药CaCl2除氟,把控pH在7.5-8.
超滤膜程序
:的还原0.01μm综上所述粒状物
反浸入浓缩造成
:将高锰酸盐指数精炼至1000mg/L超过
折点氯化
:明确把控好氯加药系统量,将氟化物应用为离氮气
亚铁离子对调
:保险巨资属达到
终究效果好
氯离子平衡<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属含量小于的检测限
水造纸废水处理率达75%
淤泥导致量减掉40%