深圳某半导体行业处置芯片打造厂，晶圆手工加工方式中引发含硅、氟的特殊的工业废渣，的设计处置市场规模1200吨/日。工业废渣物质繁多，带有奈米级硅粒状及盐酸，传统艺术处置工艺难易达到标准。 废水处理工艺成分表及来自 首要生态破坏物 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm颗粒直径）、氟阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 原因制作工艺 ：晶圆刻蚀化工废水处理方法（45%）、CMP物理化学机械厂镜面抛光化工废水处理方法（40%）、环保设备擦洗水（15%） 正确处理施工生产工艺图 改革创新采取"耐腐蚀沉定+持种膜区分"技术性风格： 钙盐沉淀自己 ：添加氯化钙祛除氟阴离子（提取CaF2积累） 二沉池反馈 ：分手后复合斜板沉淀池剂实现了胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm粒径膜挪作他用微细颗粒肥料 反融合模式 ：脱盐率>98%，利用率75% 蒸发掉析出 ：浓水段满足氟化物零污染物 最后效果好 氟化物浓度值：<8mg/L（达不到国度五级标准化10mg/L） 硅量：<5mg/L 水自然资源回收利用率：70%适用于降温塔保湿 危险废物缩减：多效蒸发渣滓量较传统文化加工制作工艺 缩减60%